固态繼電器由三部分組成：輸入電路，隔離（耦合）和輸出電路。
輸入電路
按輸入電壓的不同類别，輸入電路可分爲直流輸入電路，交流輸入電路和交直流輸入電路三種。有些輸入控制電路還具有與TTL/CMOS兼容，正負邏輯控制和反相等功能，可以方便的與TTL,MOS邏輯電路連接。
對于控制電壓固定的控制信号，采用阻性輸入電路。控制電流保證在大于5mA。對于大的變化範圍的控制信号（如3~32V）則采用恒流電路，保證在整個電壓變化範圍内電流在大于5mA可靠工作。
隔離（耦合）
固态繼電器的輸入與輸出電路的隔離和耦合方式有光電耦合和變壓器耦合兩種：光電耦合通常使用光電二極管—光電三極管，光電二極管—雙向光控可控矽，光伏電池，實現控制側與負載側隔離控制；高頻變壓器耦合是利用輸入的控制信号産生的自激高頻信号經耦合到次級，經檢波整流，邏輯電路處理形成驅動信号。
輸出電路
SSR的功率開關直接接入電源與負載端，實現對負載電源的通斷切換。主要使用有大功率晶體三極管（開關管-Transistor），單向可控矽（Thyristor或SCR），雙向可控矽（Triac），功率場效應管（MOSFET），絕緣栅型雙極晶體管（IGBT）。固态繼電器的輸出電路也可分爲直流輸出電路，交流輸出電路和交直流輸出電路等形式。按負載類型，可分爲直流固态繼電器和交流固态繼電器。直流輸出時可使用雙極性器件或功率場效應管，交流輸出時通常使用兩個可控矽或一個雙向可控矽。而交流固态繼電器又可分爲單相交流固态繼電器和三相交流固态繼電器。交流固态繼電器，按導通與關斷的時機，可分爲随機型交流固态繼電器和過零型交流固态繼電器。
